CVD清洗台
1 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式;
2 清洗规格: 2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
3可用于扩散前、光刻后、CMP后及氧化前等工艺的刻蚀清洗。 RCA清洗、SPM...清洗液为有机溶剂,设备操作台面工位、控制模式,根据客户要求设计制造。
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